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广东微纳院半导体微纳加工中试平台正式通线
近日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在南海举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，二期产业孵化区正式封顶，一批半导体项目现场签约，为南海半导体产业发展注入“芯”动能。
广东微纳院副院长王晖介绍中试平台规划与建设情况。他提到，平台具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力，2-8吋氮化镓基材料外延生长能力，其中晶圆加工产能为8吋5000片/月，材料外延生长总产能为4吋4000片/月。此外，平台将面向大湾区提供中试流片、联合研发、共建产线等技术服务和半导体工艺技能人才培训服务，帮助企业加速产品迭代，实现从工艺开发、中试到小规模量产的无缝衔接。